用分子束外延生长技术来改进HgCdTe材料的特性和重复性(上)
Keywords: 分子束外延,汞镉碲,红外焦平面阵,材料质量
Abstract:
本文介绍了在利用分子束外延技术生长HgcdTe材料方面改进材质量、重复性和柔软性所取得的进展.根据一定的判断标准,对超过100生的n型外延片的载流子浓度和迁移率、晶体缺陷密度和位错密度给出了统计数据和成品率。另外,还给出了少数载流子寿命的数据。在降低杂质浓度方面,经过不断的改进,我们已经获得可重复的,n型低载流子浓度:(2-10)×10^14cm^-3,而且电子迁移率很高。数据表明,低位错密度的薄
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