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红外与毫米波学报 2010
AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用Keywords: 扫描电容显微镜(SCM),激光束诱导电流(LBIC),光生载流子扩散,保护环,InP/InGaAs Abstract: 为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用，设计并研制了带有不同保护环光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流(LBIC)技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明，无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述，而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后，器件光敏元的扩大量会随着保护环光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中，比较合适的保护环光敏元间距应介于7 ～12 μm之间.
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