%0 Journal Article
%T AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用
%A 李永富
%A 唐恒敬
%A 李淘
%A 朱耀明
%A 殷豪
%A 李天信
%A 李雪
%A 龚海梅
%J 红外与毫米波学报
%D 2010
%I Science Press
%X 为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用，设计并研制了带有不同保护环光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流(LBIC)技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明，无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述，而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后，器件光敏元的扩大量会随着保护环光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中，比较合适的保护环光敏元间距应介于7 ～12 μm之间.
%K 扫描电容显微镜(SCM)
%K 激光束诱导电流(LBIC)
%K 光生载流子扩散
%K 保护环
%K InP/InGaAs
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=1E2A3B4A998A2C955E335C5D913B166C&yid=140ECF96957D60B2&vid=771469D9D58C34FF&iid=B31275AF3241DB2D&sid=238BD7580EFCC5AE&eid=EB58C3052341AAA3&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0