128×128短波/中波双色红外焦平面探测器

首次在国内报道了128×128面阵短波/中波（SW/MW）双色碲镉汞（HgCdTe）红外焦平面探测器（infrared focal plane arrays, IRFPAs）的研究成果.基于由采用分子束外延（MBE）和原位掺杂技术生长的ppPN型碲镉汞（Hg1-xCdxTe）多层异质结材料，通过B+注入、台面腐蚀、台面侧向钝化和爬坡金属化，以及双色探测芯片与读出电路（Readout Integrated Circuit，ROIC）混成互连等工艺，得到了128×128面阵双色焦平面探测器.通过湿化学腐蚀方法的优化，将光敏元尺寸为（50×50）μm2的双色微台面探测器的占空比提高了一倍.该面阵双色红外焦平面探测器具有较好的均匀性和正常的光电特性.在液氮温度下，二个波段的光电二极管截止波长λc分别为2.7μm和4.9μm，对应的峰值探测率D*λp分别为1.42×1011cmHz1/2/W和2.15×1011 cmHz1/2/W.