%0 Journal Article
%T 128×128短波/中波双色红外焦平面探测器
%A 叶振华
%A 尹文婷
%A 黄建
%A 胡伟达
%A 陈路
%A 廖亲君
%A 陈洪雷
%A 林春
%A 胡晓宁
%A 丁瑞军
%A 何力
%J 红外与毫米波学报
%D 2010
%I Science Press
%X 首次在国内报道了128×128面阵短波/中波（SW/MW）双色碲镉汞（HgCdTe）红外焦平面探测器（infrared focal plane arrays, IRFPAs）的研究成果.基于由采用分子束外延（MBE）和原位掺杂技术生长的ppPN型碲镉汞（Hg1-xCdxTe）多层异质结材料，通过B+注入、台面腐蚀、台面侧向钝化和爬坡金属化，以及双色探测芯片与读出电路（Readout Integrated Circuit，ROIC）混成互连等工艺，得到了128×128面阵双色焦平面探测器.通过湿化学腐蚀方法的优化，将光敏元尺寸为（50×50）μm2的双色微台面探测器的占空比提高了一倍.该面阵双色红外焦平面探测器具有较好的均匀性和正常的光电特性.在液氮温度下，二个波段的光电二极管截止波长λc分别为2.7μm和4.9μm，对应的峰值探测率D*λp分别为1.42×1011cmHz1/2/W和2.15×1011 cmHz1/2/W.
%K HgCdTe
%K 湿化学腐蚀方法
%K 双色微台面隔离
%K 峰值探测率
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=11FEF3CE169E34354AE7B2CF03FC3C47&yid=140ECF96957D60B2&vid=771469D9D58C34FF&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=BFB86B6ED3A99B9D&eid=6B3068A7C27BD349&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0