SIMULATED ANNEALING OPTIMIZATION ALGORITHM FOR INVERTING ELLIPSOMETRIC SPECTRA
模拟退火法在椭偏光谱数值反演中的应用

将模拟退火（ＳＡ）法应用于椭偏光谱数值反演，以达到同时得到介质薄膜的厚度和光学常数谱，并对ＳＡ算法作了说明和改进，作为应用实例，计算了Ｓｉ衬底上的ＳｉＯ２薄膜和Ｂａ０．９Ｓｒ０．１ＴｉＯ３（ＢＳＴ）铁电薄膜的膜厚及光学常数谱，同时讨论了椭扁参数φ和△随膜厚及折射率变化的灵敏度。