%0 Journal Article
%T SIMULATED ANNEALING OPTIMIZATION ALGORITHM FOR INVERTING ELLIPSOMETRIC SPECTRA
模拟退火法在椭偏光谱数值反演中的应用
%A YANG Sheng-Hong
%A YU Zhao-Xian
%A LI Hui-Qiu
%A ZHANG Yue-Li
%A MO Dang
%A
阳生红
%A 余招贤
%J 红外与毫米波学报
%D 2000
%I Science Press
%X 将模拟退火(SA)法应用于椭偏光谱数值反演,以达到同时得到介质薄膜的厚度和光学常数谱,并对SA算法作了说明和改进,作为应用实例,计算了Si衬底上的SiO2薄膜和Ba0.9Sr0.1TiO3(BST)铁电薄膜的膜厚及光学常数谱,同时讨论了椭扁参数φ和△随膜厚及折射率变化的灵敏度。
%K simulated annealing optimization
%K ellipsometric spectra
%K inversion
%K applied examples
模拟退火法
%K 椭偏光谱
%K 数值反演
%K 薄膜光学性质
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=7AEA120B5F8A4143&yid=9806D0D4EAA9BED3&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=94C357A881DFC066&sid=302684F6FB4B24FF&eid=556C1A86E372B606&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=3&reference_num=7