全部 标题 作者
关键词 摘要

OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用:99美元

查看量下载量

相关文章

更多...

STUDY ON MICROOPTICAL SCANNER
微型光扫描器研究

Keywords: microlens arrays,PZT actuator,MOEMS,microoptical scanner
微透镜阵列
,压电驱动器,微光机电系统,微型光扫描器

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符.

Full-Text

Contact Us

service@oalib.com

QQ:3279437679

WhatsApp +8615387084133