%0 Journal Article
%T STUDY ON MICROOPTICAL SCANNER<br>微型光扫描器研究
%A HUANG Ying
%A XIANG Si-Hu
%A CHEN Si-Hai
%A LAI Jian-Jun
%A YI Xin-Jian
%A <br>黄鹰
%A 向思桦
%A 陈四海
%A 赖建军
%A 易新建
%J 红外与毫米波学报
%D 2007
%I Science Press
%X 设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符.
%K microlens arrays
%K PZT actuator
%K MOEMS
%K microoptical scanner<br>微透镜阵列
%K 压电驱动器
%K 微光机电系统
%K 微型光扫描器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=9D30C88C2CD552868F91D666A4B7F872&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=96C778EE049EE47D&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=96C778EE049EE47D&eid=771469D9D58C34FF&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=7