MICROSTRUCTURE AND RESISTING LASER DAMAGE PROPERTY OF ZrO2 FILMS
ZrO2薄膜微结构及其抗激光损伤特性研究

通过分析ZrO2薄膜电子束沉积时氧压、衬底转动及温度对薄膜相结构、晶粒尺寸和粗糙度的影响，对ZrO2薄膜微结构特性与抗激光诱导损伤性能的关系进行了研究.ZrO2薄膜衬底无转动沉积时晶体以四方相为主，而转动沉积时形成具有较高激光损伤阈值的单斜相结构.薄膜晶粒尺寸和粗糙度均随氧压的升高而减小，四方相受氧压影响变化明显高于单斜相，氧压的继续升高使多晶形态向非晶形态逐渐转变.多晶结构的损伤阈值随着晶粒尺寸的减小而增高，薄膜表面粗糙度随着沉积温度的升高略有增加，且多晶结构的损伤阈值明显要高于非晶结构，ZrO2薄膜损伤阈值（E）与粗糙度（σ）基本符合关系：Eσα=β（α=1.41, β=2.25）.