%0 Journal Article
%T MICROSTRUCTURE AND RESISTING LASER DAMAGE PROPERTY OF ZrO2 FILMS<br>ZrO2薄膜微结构及其抗激光损伤特性研究
%A LIU An-Ping
%A HAN Wei-Feng
%A HUANG Mao
%A LUO Qing-Chun
%A <br>刘安平
%A 韩伟峰
%A 黄茂
%A 罗庆春
%J 红外与毫米波学报
%D 2010
%I Science Press
%X 通过分析ZrO2薄膜电子束沉积时氧压、衬底转动及温度对薄膜相结构、晶粒尺寸和粗糙度的影响，对ZrO2薄膜微结构特性与抗激光诱导损伤性能的关系进行了研究.ZrO2薄膜衬底无转动沉积时晶体以四方相为主，而转动沉积时形成具有较高激光损伤阈值的单斜相结构.薄膜晶粒尺寸和粗糙度均随氧压的升高而减小，四方相受氧压影响变化明显高于单斜相，氧压的继续升高使多晶形态向非晶形态逐渐转变.多晶结构的损伤阈值随着晶粒尺寸的减小而增高，薄膜表面粗糙度随着沉积温度的升高略有增加，且多晶结构的损伤阈值明显要高于非晶结构，ZrO2薄膜损伤阈值（E）与粗糙度（σ）基本符合关系：Eσα=β（α=1.41, β=2.25）.
%K ZrO2 Film
%K Evaporating and depositing with the electron beams
%K Oxygen pressure
%K Laser damage threshold<br>ZrO2薄膜
%K 电子束蒸发
%K 氧分压
%K 激光损伤阈值
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=A78F293E8E1E1AC4D014B70402C932D7&yid=140ECF96957D60B2&vid=771469D9D58C34FF&iid=94C357A881DFC066&sid=CF6CB42CFF3D4C4E&eid=50EA2A80A7D254EF&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=1&reference_num=0