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ISSN: 2333-9721
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FABRICATION OF 128-ELEMENT UNCOOLED VO_x THERMAL IR DETECTORS
128元非致冷氧化钒红外探测器的制作

Keywords: IR detectors,microbridge structure,microbridge arrays,uncooled,vanadium oxides thin film
红外探测器,微桥结构,微桥阵列,氧化钒薄膜,电阻温度系数

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Abstract:

采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为 - 0 .0 2 1K-1的氧化钒薄膜 ,以此为基础 ,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上制作了 12 8元氧化钒红外探测器 .为了降低探测器敏感元与衬底间的热导 ,设计制作了自支撑的微桥结构阵列 .测试结果显示探测器的响应率和探测率在 8～ 12 μm的长波红外波段处分别达到10 4V/W和 2× 10 8cmHz1/ 2 W-1.

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