%0 Journal Article
%T FABRICATION OF 128-ELEMENT UNCOOLED VO_x THERMAL IR DETECTORS<br>128元非致冷氧化钒红外探测器的制作
%A WANG Hong Chen
%A YI Xin Jian
%A CHEN Si Hai
%A HUANG Guang
%A XIAO Jing
%A <br>王宏臣
%A 易新建
%A 陈四海
%A 黄光
%A 肖静
%J 红外与毫米波学报
%D 2004
%I Science Press
%X 采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为 - 0 .0 2 1K-1的氧化钒薄膜 ,以此为基础 ,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上制作了 12 8元氧化钒红外探测器 .为了降低探测器敏感元与衬底间的热导 ,设计制作了自支撑的微桥结构阵列 .测试结果显示探测器的响应率和探测率在 8～ 12 μm的长波红外波段处分别达到10 4V/W和 2× 10 8cmHz1/ 2 W-1.
%K IR detectors
%K microbridge structure
%K microbridge arrays
%K uncooled
%K vanadium oxides thin film<br>红外探测器
%K 微桥结构
%K 微桥阵列
%K 氧化钒薄膜
%K 电阻温度系数
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=104FBECDADF00851&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=EA389574707BDED3&iid=0B39A22176CE99FB&sid=A4FA325EA800C820&eid=331211A5F5616413&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=8&reference_num=10