THE STUDY OF A AUTO ELLIPSOMETER SYSTEM BY USING A TWO-DIMENSIONAL CCD ARRAY DETECTOR
面阵CCD探测的全自动椭圆偏振光谱系统研究

给出了一种椭圆偏振光谱的快速测量方法，并使得实验系统的结构更为紧凑和小型化，减轻了重量，研究中采用了由面阵型CCD探测器和平面多光栅组成的光谱仪，无需光栅扫描，就能够在很短时间内对光谱进行快速准确的数字凝视式成像，光谱分辨精度优于1．0mm，显著提高了系统工作的可靠性和效率，系统采取了将CCD光谱仪后置的方式，研究并解决了从物理光学原理，器件设计和加工、系统调试和定标、软件编制以及到光谱测量和数据分析等一系列问题，实验中对典型贵金属Au的光学常数谱进行了测量，获得了满意的结果。