%0 Journal Article
%T THE STUDY OF A AUTO ELLIPSOMETER SYSTEM BY USING A TWO-DIMENSIONAL CCD ARRAY DETECTOR<br>面阵CCD探测的全自动椭圆偏振光谱系统研究
%A YOU Hai-Yang
%A JIA Jian-Hu
%A CHEN Jian-Ke
%A HAN Tao
%A NI Wei-Ming
%A WANG Song-You
%A LI Jin
%A YANG Yue-Mei
%A CHEN Liang-Yao
%A <br>游海洋
%A 贾建虎
%J 红外与毫米波学报
%D 2003
%I Science Press
%X 给出了一种椭圆偏振光谱的快速测量方法，并使得实验系统的结构更为紧凑和小型化，减轻了重量，研究中采用了由面阵型CCD探测器和平面多光栅组成的光谱仪，无需光栅扫描，就能够在很短时间内对光谱进行快速准确的数字凝视式成像，光谱分辨精度优于1．0mm，显著提高了系统工作的可靠性和效率，系统采取了将CCD光谱仪后置的方式，研究并解决了从物理光学原理，器件设计和加工、系统调试和定标、软件编制以及到光谱测量和数据分析等一系列问题，实验中对典型贵金属Au的光学常数谱进行了测量，获得了满意的结果。
%K CCD detector
%K monochromator
%K optical spectrometer
%K ellipsometer
%K optical constant<br>面阵CCD探测
%K 全自动椭圆偏振光谱系统
%K 单色仪
%K 光谱仪
%K 椭偏仪
%K 光学常数
%K 测量方法
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=52EF9898C0462C8C&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=BC12EA701C895178&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=94E7F66E6C42FA23&eid=771152D1ADC1C0EB&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=6&reference_num=10