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红外与毫米波学报 2001
256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究Keywords: PtSi红外焦平面阵列,微透镜阵列,单片集成技术 Abstract: 基于标量衍射理论设计了 8位相菲涅尔衍射微透镜阵列 .利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵( 2 5 6× 2 5 6) Pt Si红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品 (单元面积为 3 0μm× 4 0μm ) .测试结果表明 ,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了 2 .0倍 .
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