%0 Journal Article
%T 256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究
%A 陈四海
%A 易新建
%A 王宏臣
%A 孔令彬
%A 马宏
%J 红外与毫米波学报
%D 2001
%I Science Press
%X 基于标量衍射理论设计了 8位相菲涅尔衍射微透镜阵列 .利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵( 2 5 6× 2 5 6) Pt Si红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品 (单元面积为 3 0μm× 4 0μm ) .测试结果表明 ,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了 2 .0倍 .
%K PtSi红外焦平面阵列
%K 微透镜阵列
%K 单片集成技术
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=5444082271C8AEC4766611BFE47772D2&yid=14E7EF987E4155E6&vid=A04140E723CB732E&iid=94C357A881DFC066&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=1&reference_num=0