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ISSN: 2333-9721
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EFFECT OF GAP STATES ON PHOTOCONDUCTIVITY OF GLOW DISCHARGED a-SiN_x:H FILMS
带隙态对辉光放电a—SiNx:H光电导的作用

Keywords: photoconductivity,band gap states,band tail states,silicon (Si)
带隙态
,带尾态,,光电导

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Abstract:

研究了a-SiN_x:H中带隙态和带尾态对光电导的影响。实验结果表明:退火引起光电导响应增加,光电流谱中的肩峰在200℃退火时消失,光生载流子的复合随退火温度的变化由双分子型变为单、双分子混合型,取决于光电导的带隙随退火温度的提高而略有增加。并从光电导测量定量地给出了悬键态密度。

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