双S枪直流磁控溅射淀积Si-Ag-Si近红外透明导电薄膜的研究

应用双S枪直流磁控溅射技术淀积Si-Ag-Si近红外透明导电薄膜。设计和优化了膜系结构,采用一种简便的控制方法溅射淀积Si-Ag-Si膜,给出了薄膜的光学、电学和机械性能。