%0 Journal Article
%T 双S枪直流磁控溅射淀积Si-Ag-Si近红外透明导电薄膜的研究
%A 叶志镇
%A 唐晋发
%J 红外与毫米波学报
%D 1988
%I Science Press
%X 应用双S枪直流磁控溅射技术淀积Si-Ag-Si近红外透明导电薄膜。设计和优化了膜系结构,采用一种简便的控制方法溅射淀积Si-Ag-Si膜,给出了薄膜的光学、电学和机械性能。
%K 直流磁控溅射
%K 近红外薄膜
%K 膜系
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=FD6B9DAA03933A07380C93829CAABAE9&yid=0702FE8EC3581E51&vid=DF92D298D3FF1E6E&iid=E158A972A605785F&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0