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Keywords: 超晶格,分子束外延,MIS系统,电容
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在p-型HgTe/CdTe超晶格材料上制作金属-绝缘体-半导体(MIS)结构。报道了HgTe/CdTe超晶格的分子束外延生长、器件制作和测量结果。研究表明,比较宽的CdTe势垒阻碍了少子(电子)到界面的迁移,在77K强反型区域的低频电容不能达到绝缘层电容,类似于普遍MIS器件的高频C-V曲线。
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