用红外光弹仪测量研究硅单晶应力

本文报道了用红外光弹观测仪定量测量和研究硅单晶残余应力,测定主应力方向和主应力差。为定量计算主应力差,我们给出了几种判别干涉条纹级次的方法。介绍了硅单晶出现残余应力的几种情况。