%0 Journal Article
%T 用红外光弹仪测量研究硅单晶应力
%A 周佐平
%A 余焕霓
%A 杜警鸣
%A 肖克波
%A 李文江
%J 红外与毫米波学报
%D 1983
%I Science Press
%X 本文报道了用红外光弹观测仪定量测量和研究硅单晶残余应力,测定主应力方向和主应力差。为定量计算主应力差,我们给出了几种判别干涉条纹级次的方法。介绍了硅单晶出现残余应力的几种情况。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=4DEA941E505E7432C289A8C20EFE5558&yid=A7F20A391020FDEE&vid=0B39A22176CE99FB&iid=E158A972A605785F&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0