正性远紫外抗蚀剂 Ⅰ.聚苯乙烯砜的研究

合成了一种高分辨率的正性远紫外抗蚀剂—聚苯乙烯砜。其灵敏度比PMMA高6.5倍。分辨率达0.75微米,并发现灵敏度与分子量和膜厚有较大的依赖关系,分子量越大,灵敏度越高;膜越薄,灵敏度越高,紫外和红外光谱表明,在光照过程中生成了氢过氧化物和羰基化合物。