%0 Journal Article
%T 正性远紫外抗蚀剂 Ⅰ.聚苯乙烯砜的研究
%A 杨永源
%A 高志民
%A 冯树京
%A 吴世康
%J 高分子学报
%D 1984
%I 
%X 合成了一种高分辨率的正性远紫外抗蚀剂—聚苯乙烯砜。其灵敏度比PMMA高6.5倍。分辨率达0.75微米,并发现灵敏度与分子量和膜厚有较大的依赖关系,分子量越大,灵敏度越高;膜越薄,灵敏度越高,紫外和红外光谱表明,在光照过程中生成了氢过氧化物和羰基化合物。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=6579068328FE643F&jid=15971983683C7643EE80F1CE621DEB60&aid=6A50E1CDE672E399&yid=36250D1D6BDC99BD&iid=B31275AF3241DB2D&sid=A53D7AA35F9929AF&eid=09AA1448D1EAF9C1&journal_id=1000-3304&journal_name=高分子学报&referenced_num=0&reference_num=0