热处理温度对ZnO∶Al薄膜性能的影响

利用溶胶-凝胶技术在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al薄膜，表征了薄膜的结构、光透过和光致发光特性，探讨了热处理温度对薄膜晶体结构和光学性质的影响.结果表明，在热分解温度400 ℃和退火温度600 ℃时，ZnO∶Al薄膜的C轴择优取向明显，透过率较高.在热处理温度400 ℃情况下，激发波长340 nm的光致发光谱中有三个发光中心，紫外发光强度随退火温度的升高先升高后下降，500 ℃时发光强度最强.其它两个发光峰的强度随退火温度的升高而降低甚至消失.激发波长不同，ZnO∶Al薄膜的发光中心和强度均发生变化.