%0 Journal Article %T 热处理温度对ZnO∶Al薄膜性能的影响 %A 杨春秀 %A 闫金良 %A 孙学卿 %A 李科伟 %A 李俊 %J 光子学报 %D 2008 %I %X 利用溶胶-凝胶技术在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al薄膜,表征了薄膜的结构、光透过和光致发光特性,探讨了热处理温度对薄膜晶体结构和光学性质的影响.结果表明,在热分解温度400 ℃和退火温度600 ℃时,ZnO∶Al薄膜的C轴择优取向明显,透过率较高.在热处理温度400 ℃情况下,激发波长340 nm的光致发光谱中有三个发光中心,紫外发光强度随退火温度的升高先升高后下降,500 ℃时发光强度最强.其它两个发光峰的强度随退火温度的升高而降低甚至消失.激发波长不同,ZnO∶Al薄膜的发光中心和强度均发生变化. %K 溶胶-凝胶法 %K ZnO∶Al薄膜 %K 热处理 %K 晶体结构 %K 光致发光 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=B5ED253E0EC0CF0C84FF6C4C067F9281&yid=67289AFF6305E306&vid=42425781F0B1C26E&iid=59906B3B2830C2C5&sid=2768654D5F8E2AA3&eid=C9E61AB37F867E3C&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=0&reference_num=0