Young′s Moduli Evaluation of Micro-machined Silicon Membranes Using Optically Excited Resonance and Optical Fiber Sensing Techniques
光激光拾谐振法确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量

提出了一种采用光热激励和光拾取的全光谐振技术方法，确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量．该方法基于光热激励的致动机理，使用调制光对硅微机械薄膜结构进行光热激励使之谐振，利用光纤传感技术拾取其谐振频率信号，进而利用谐振理论模型确定其杨氏弹性模量．为准确确定杨氏弹性模量，利用了硅微薄膜结构的前三阶谐振频率进行多次测量，求均值的方法．为简化光激励测试系统，设计了新颖结构的单光源激励测试系统，同时实现了对微机械薄膜结构的激振和信号拾取．