%0 Journal Article
%T Young′s Moduli Evaluation of Micro-machined Silicon Membranes Using Optically Excited Resonance and Optical Fiber Sensing Techniques<br>光激光拾谐振法确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量
%A 张少君
%A 刘月明
%J 光子学报
%D 2005
%I 
%X 提出了一种采用光热激励和光拾取的全光谐振技术方法，确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量．该方法基于光热激励的致动机理，使用调制光对硅微机械薄膜结构进行光热激励使之谐振，利用光纤传感技术拾取其谐振频率信号，进而利用谐振理论模型确定其杨氏弹性模量．为准确确定杨氏弹性模量，利用了硅微薄膜结构的前三阶谐振频率进行多次测量，求均值的方法．为简化光激励测试系统，设计了新颖结构的单光源激励测试系统，同时实现了对微机械薄膜结构的激振和信号拾取．
%K Micromechanical silicon membranes
%K Young's modulus
%K Optically excited resonance
%K Optical fiber sensing<br>硅微机械薄膜
%K 杨氏弹性模量
%K 光激励谐振
%K 光纤拾取
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=57019556BA0EC009&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=339D79302DF62549&iid=B31275AF3241DB2D&sid=A766A50385B9FB1F&eid=750AE535ABE3D62A&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=0&reference_num=8