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ISSN: 2333-9721
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光子学报  2005 

A Novel Profilometry with Dual-frequency Grating
一种新的双频光栅轮廓术

Keywords: Shape measurement,Fourier transform,Phase distribution,Phase unwrapping,Two-frequency grating
形貌检测
,傅里叶变换,相位分布,相位去包裹,双频光栅

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Abstract:

物体含突变部分时,包裹相位很难准确恢复,若用双频光栅技术分两次测量,测量次数增加,不符合实时要求,提出用软件方法生成含两种不同频率的复合光栅,用液晶投影仪投影,针对不同物体突变情形,生成各种不同灵敏度的复合光栅,只一次采集,就达到过去双频多次采集的效果,两幅不同灵敏度的相位图可同时获取,相位去包裹时高精度光栅相位不确定性由粗光栅对应相位修正,最后,进行了实验测试,结果表明,新方法具有速度快、精度高、测试范围广等特点。

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