|
光子学报 2005
A Novel Profilometry with Dual-frequency Grating
|
Abstract:
物体含突变部分时,包裹相位很难准确恢复,若用双频光栅技术分两次测量,测量次数增加,不符合实时要求,提出用软件方法生成含两种不同频率的复合光栅,用液晶投影仪投影,针对不同物体突变情形,生成各种不同灵敏度的复合光栅,只一次采集,就达到过去双频多次采集的效果,两幅不同灵敏度的相位图可同时获取,相位去包裹时高精度光栅相位不确定性由粗光栅对应相位修正,最后,进行了实验测试,结果表明,新方法具有速度快、精度高、测试范围广等特点。