%0 Journal Article
%T A Novel Profilometry with Dual-frequency Grating<br>一种新的双频光栅轮廓术
%A ( School of Life Science
%A Zhongshan University
%A Guangzhou ( School of Physics
%A Microelectronics
%A Shandong University
%A Jinan
%A <br>李方
%A 周灿林
%J 光子学报
%D 2005
%I 
%X 物体含突变部分时，包裹相位很难准确恢复，若用双频光栅技术分两次测量，测量次数增加，不符合实时要求，提出用软件方法生成含两种不同频率的复合光栅，用液晶投影仪投影，针对不同物体突变情形，生成各种不同灵敏度的复合光栅，只一次采集，就达到过去双频多次采集的效果，两幅不同灵敏度的相位图可同时获取，相位去包裹时高精度光栅相位不确定性由粗光栅对应相位修正，最后，进行了实验测试，结果表明，新方法具有速度快、精度高、测试范围广等特点。
%K Shape measurement
%K Fourier transform
%K Phase distribution
%K Phase unwrapping
%K Two-frequency grating<br>形貌检测
%K 傅里叶变换
%K 相位分布
%K 相位去包裹
%K 双频光栅
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=E52C3CCD393EDE65&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=339D79302DF62549&iid=E158A972A605785F&sid=7E2D9DFE40003B3F&eid=20C9FB8C7B4A22AD&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=12&reference_num=12