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光子学报 2007
Coaxiality Method for Position and Angle Deviation Measurement
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Abstract:
提出了一种仅由接收物镜和CCD构成的接收器,通过物镜位置的调整,可以同时完成平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)这两个参量的测量.通过对系统像差的分析,提出了可显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1/1 .6 inch的系统,平偏测量准确度可达0 .02 mm,角偏测量准确度可达9 .5″.
