%0 Journal Article
%T Coaxiality Method for Position and Angle Deviation Measurement<br>一种同时测量平行偏差、倾斜偏差的方法
%A WU Guo-jun
%A WU Ling-ling
%A YAN Ya-dong
%A CANG Yu-ping
%A CHEN Liang-yi
%A <br>吴国俊
%A 吴玲玲
%A 闫亚东
%A 仓玉萍
%A 陈良益
%J 光子学报
%D 2007
%I 
%X 提出了一种仅由接收物镜和CCD构成的接收器,通过物镜位置的调整,可以同时完成平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)这两个参量的测量.通过对系统像差的分析,提出了可显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1/1 .6 inch的系统,平偏测量准确度可达0 .02 mm,角偏测量准确度可达9 .5″.
%K Optical measurement
%K Beam-spot receiver
%K Ray trace
%K Position deviation
%K Angle deviation<br>光学测量
%K 光斑接收器
%K 光线追迹
%K 平行偏差(平偏)
%K 倾斜偏差(角偏)
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=D4FEA81FD3462D2027370EB384D108D3&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=933658645952ED9F&iid=708DD6B15D2464E8&sid=E76352A43E934A0F&eid=3852E53ACC3276FE&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=3&reference_num=15