Fabrication of a SOI Based Channel-shifted Multimode Interference Coupler
SOI通道转换型多模干涉耦合器的研究

设计和制作了基于SOI的通道转换型多模干涉耦合器。用二维BPM方法分析了耦合器的性能与多模波导宽度和长度的依赖关系．制作出的耦合器能实现良好的通道转换，器件的功率转换比为73．附加损耗为2．2dB．提高器件制作的精度将能进一步改善耦合器的性能．