%0 Journal Article
%T Fabrication of a SOI Based Channel-shifted Multimode Interference Coupler<br>SOI通道转换型多模干涉耦合器的研究
%A (State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics
%A Institute of Semiconductors
%A the Chinese Academy of Sciences
%A Beijing
%A <br>王章涛
%A 樊中朝
%A 陈少武
%A 余金中
%J 光子学报
%D 2004
%I 
%X 设计和制作了基于SOI的通道转换型多模干涉耦合器。用二维BPM方法分析了耦合器的性能与多模波导宽度和长度的依赖关系．制作出的耦合器能实现良好的通道转换，器件的功率转换比为73．附加损耗为2．2dB．提高器件制作的精度将能进一步改善耦合器的性能．
%K SOI
%K Multimode interference
%K Channel-shifted<br>SOI
%K 多模干涉
%K 通道转换
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=E5FAEF0D17094E4B&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=27746BCEEE58E9DC&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=1EA033F7E0CC5F25&eid=AE9D5375B9B2D7F2&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=1&reference_num=5