Measurement and Dynamic Response Analysis on a MEMS Variable Optical Attenuator
一种MEMS可调光衰减器性能测试及动态响应分析

一种基于微细电火花加工(EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器，以电磁线圈驱动微反射镜，本文介绍该器件特性测试及动态响应分析，结果表明，驱动电压为0～8v，工作范围0～35dB，动态响应时间为2ms，插入损耗小于0．8dB，回波损耗小于-50．5dB。