%0 Journal Article
%T Measurement and Dynamic Response Analysis on a MEMS Variable Optical Attenuator<br>一种MEMS可调光衰减器性能测试及动态响应分析
%A (State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation
%A Center for Optical
%A Electromagnetic Research
%A Zhejiang University
%A Hangzhou
%A <br>袁野
%A 曹钟慧
%A 鲍俊峰
%A 邹勇卓
%A 吴兴坤
%J 光子学报
%D 2004
%I 
%X 一种基于微细电火花加工(EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器，以电磁线圈驱动微反射镜，本文介绍该器件特性测试及动态响应分析，结果表明，驱动电压为0～8v，工作范围0～35dB，动态响应时间为2ms，插入损耗小于0．8dB，回波损耗小于-50．5dB。
%K MEMS
%K Variable Optical Attenuator
%K EDM
%K Dynamic Response<br>可调光衰减器
%K 电火花加工
%K 动态响应
%K 插入损耗
%K 光纤通信
%K 回波损耗
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=8A66BAEC06C174F3&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=27746BCEEE58E9DC&iid=E158A972A605785F&sid=AC2617B68B137D9D&eid=D98387EFB283C5E0&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=8&reference_num=14