ELECTROOPTIC SIMPLING OF INTERNAL MICROWAVE SIGNALS IN GaAsCOPLANAR WAVEGUIDES
砷化镓共面波导内部微波信号的电光取样检测
Jia Gang,
Yi Maobin,
Sun Wei,
Cao Jie,
Sun Jianguo,
Wang Jiasheng,
Qin Li,
Gao Dingsan,
贾刚,
衣茂斌,
孙伟,
曹杰,
孙建国,
王佳生,
秦莉,
高鼎三
Keywords: Electrooptic sampling,High-speed integrated circuits,Coplanar waveguides,On-wafer tests,Picosecond optical pulses
电光取样,高速集成电路,共面波导,在片检测,皮秒光脉冲
Abstract:
本文报道了共轴反射式电光取样系统。该系统时间分辨率不低于20ps,空间分辨率不低于3μm。用它检测了砷化镓共面波导内部的微波信号。这套系统将被应用于砷化镓高速集成电路内部特性的在片检测。
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