硅n^＋p结中金的两个深能级及相对浓度分布的测量

本文用深能级瞬态谱（ＤＬＴＳ）方法对ｐ型单晶硅中ｎ＾＋ｐ结掺金形成的两个深能级进行了实验研究，并对ＤＬＴＳ方法中传统计算深中心浓度分布的公式进行了改进，给出了深能级及相对浓度分布更为准确的测量结果。