%0 Journal Article
%T 硅n^＋p结中金的两个深能级及相对浓度分布的测量
%A 王红理
%A 傅春寅
%J 光子学报
%D 1996
%I 
%X 本文用深能级瞬态谱（ＤＬＴＳ）方法对ｐ型单晶硅中ｎ＾＋ｐ结掺金形成的两个深能级进行了实验研究，并对ＤＬＴＳ方法中传统计算深中心浓度分布的公式进行了改进，给出了深能级及相对浓度分布更为准确的测量结果。
%K n^＋p结
%K 深能级
%K 掺金
%K 深能级
%K 掺杂浓度
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=7A99AE8C04B3C053826D9299EBA535EF&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=C5154311167311FE&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=2C20277AC27E4821&eid=7FAAB0292FA0D5D0&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=0&reference_num=3