用离子束刻蚀法制作层状液相外延脊型磁光波导

改变基片转速，连续外延生长了双层磁光薄膜，其折射率为差小于１０＾－＾２，用ＮｉＣｒ膜作掩膜，在双层磁光薄膜进行离子束刻蚀，制作了宽度为２０μｍ，长度为６ｍｍ，高度为的０．９μｍ的脊形波导，并在此波导上进行了光传输实验。