%0 Journal Article
%T 用离子束刻蚀法制作层状液相外延脊型磁光波导
%A 欧阳嘉
%A 张颖
%J 光子学报
%D 1995
%I 
%X 改变基片转速，连续外延生长了双层磁光薄膜，其折射率为差小于１０＾－＾２，用ＮｉＣｒ膜作掩膜，在双层磁光薄膜进行离子束刻蚀，制作了宽度为２０μｍ，长度为６ｍｍ，高度为的０．９μｍ的脊形波导，并在此波导上进行了光传输实验。
%K 层状磁光薄膜
%K 脊形波导
%K 离子束刻蚀
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=109A0A7BE40CAB0CE32E24462365F97A&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=B91E8C6D6FE990DB&iid=0B39A22176CE99FB&sid=6235172E4DDBA109&eid=C29816B2656377A7&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=0&reference_num=0