Distortion Detect of Large Field Projection Lithography Lens
大视场投影光刻物镜的畸变特性检测

畸变特性是光刻物镜的关键指标，目前少有报道，提出了一种大视场投影光刻物镜畸变测量原理，测量系统和测量数据的处理方法．利用该装置对研制的口径6英寸，分辨率3μm的物镜进行了测量，得出该物镜在全视场的畸变值小于2．0μm。