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Keywords: Microlens array,Micro optics,Casting plastic,Replication微透镜阵列,微光学,铸塑,复制,微电子技术
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在光刻热熔成型以及电铸制得到的微透镜阵列镍板基础上,采用静态铸塑技术,得到了高质量的PMMA微透镜阵列,本文介绍了静态铸塑的聚合反应理论基础,模具设计以及工艺过程,最后对微透镜阵列的复制精度进行分析,结果表明复制精度优于0.5m。
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