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ISSN: 2333-9721
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光子学报  1998 

REPLICATION OF MICROLENS ARRAY BY CASTING PLASTIC
微透镜阵列的铸塑复制技术

Keywords: Microlens array,Micro optics,Casting plastic,Replication
微透镜阵列
,微光学,铸塑,复制,微电子技术

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Abstract:

在光刻热熔成型以及电铸制得到的微透镜阵列镍板基础上,采用静态铸塑技术,得到了高质量的PMMA微透镜阵列,本文介绍了静态铸塑的聚合反应理论基础,模具设计以及工艺过程,最后对微透镜阵列的复制精度进行分析,结果表明复制精度优于0.5m。

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