%0 Journal Article %T REPLICATION OF MICROLENS ARRAY BY CASTING PLASTIC
微透镜阵列的铸塑复制技术 %A Chen Xiangxian High Technology Optical Center %A Zhejiang University %A Hangzhou %A Received date:-- %A
陈祥献 %J 光子学报 %D 1998 %I %X 在光刻热熔成型以及电铸制得到的微透镜阵列镍板基础上,采用静态铸塑技术,得到了高质量的PMMA微透镜阵列,本文介绍了静态铸塑的聚合反应理论基础,模具设计以及工艺过程,最后对微透镜阵列的复制精度进行分析,结果表明复制精度优于0.5m。 %K Microlens array %K Micro optics %K Casting plastic %K Replication
微透镜阵列 %K 微光学 %K 铸塑 %K 复制 %K 微电子技术 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=9F6139E34DAA109F9C104697BF49FC39&aid=A9608FE014EAD3725CD9CED5D2F2EEB8&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=DB817633AA4F79B9&iid=38B194292C032A66&sid=4FE459D71E3BF8EB&eid=1A363081E1FF7014&journal_id=1004-4213&journal_name=光子学报&referenced_num=3&reference_num=4