High resolution interface circuit for closed-loop accelerometer
高分辨力闭环微加速度计接口电路

本文报道一种电容式闭环微加速度计的低噪声、开关电容CMOS接口电路。采用相同电极分时复用的方法，从而避免电容敏感与静电力反馈的馈通现象。并设计PID电路保证真空封装的高Q值加速度计的闭环稳定性及动态响应特性。整体电路结构只需单端放大器，传输门和电容。测试结果显示，接口电路工作在±5V条件下，整体微加速度计具有±3g满量程，非线性0.05%，800Hz带宽，刻度因子为1.2V/g，噪声密度为0.8μg/ 。芯片采用2um 双金属双多晶N阱CMOS工艺加工，芯片面积15.2 mm2。测试结果证明，本文电路达到高精度微加速度计系统设计要求，可以应用到地震监测、石油勘探等领域中。