%0 Journal Article
%T High resolution interface circuit for closed-loop accelerometer<br>高分辨力闭环微加速度计接口电路
%A Yin Liang
%A Liu Xiaowei
%A Chen Weiping
%A Zhou Zhiping
%A <br>尹亮
%A 刘晓为
%A 陈伟平
%A 周治平
%J 半导体学报
%D 2011
%I 
%X 本文报道一种电容式闭环微加速度计的低噪声、开关电容CMOS接口电路。采用相同电极分时复用的方法，从而避免电容敏感与静电力反馈的馈通现象。并设计PID电路保证真空封装的高Q值加速度计的闭环稳定性及动态响应特性。整体电路结构只需单端放大器，传输门和电容。测试结果显示，接口电路工作在±5V条件下，整体微加速度计具有±3g满量程，非线性0.05%，800Hz带宽，刻度因子为1.2V/g，噪声密度为0.8μg/ 。芯片采用2um 双金属双多晶N阱CMOS工艺加工，芯片面积15.2 mm2。测试结果证明，本文电路达到高精度微加速度计系统设计要求，可以应用到地震监测、石油勘探等领域中。
%K closed-loop accelerometer
%K interface circuit
%K switched capacitor
%K low noise<br>电容式加速度计
%K 接口电路
%K 闭环
%K 高分辨率
%K CMOS工艺
%K 时分多路复用
%K PID控制器
%K 运行电容
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=3DFC88ABA190FA30304B6DE890274064&yid=9377ED8094509821&vid=9971A5E270697F23&iid=E158A972A605785F&sid=F526958FCF8E16F4&eid=5D311CA918CA9A03&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0