A novel method to analyze the contact resistance effect on OTFTs
一种用于分析接触电阻对OTFT的性能影响的新方法研究

一种通用的，可用于分析OTFT接触电阻对OTFT性能影响的模型具有重要意义，但这至今尚未见报道。为此本文通过引进一个关键参数Rc/Rch0 （接触电阻/通态电阻），并以模拟方法分析它与各性能参数变化率关系，从而使上述模型得到部分实现。研究中首先拓展了OTFT的Brown模型公式，接着分析了接触电阻导致的各性能参数（迁移率μ，饱和电压 VDsat等）误差变化情况。接着根据所得到结果，对关键参数Rc/Rch0重点进行了分析和论证，获得一个非常有意义的结果，在此基础上，一种估算OTFT内在接触电阻，进而修正因接触电阻导致的各性能参数误差值的方法被首次提出。实验证明该方法具有合理性。