A universal programmable driving circuit for spatial light modulators
通用可编程多量子阱空间光调制器驱动电路

研制了一种通用可编程的多量子阱空间光调制器驱动电路。利用软件预处理单元产生非线性光电转换控制信号，采用先粗扫再细扫的二次扫描方式，在保证扫描速度及分辨率的同时，有效降低像素单元电路的面积。通过调整驱动电路开关网络结构，减小了开关噪声，提高了输出精度。采用0.35 μm CMOS模拟工艺，完成了64×64阵列的多量子阱空间光调制器驱动电路的版图设计及流片。测试结果显示，芯片可以很好的工作，其输出摆幅可达0-VDD，驱动电压分辨率可调，最高至256，单个像素版图面积仅为65μm×65μm，可以与多量子阱空间光调制器倒装在一起，满足多量子阱空间光调制器对驱动电路的要求。