%0 Journal Article
%T A universal programmable driving circuit for spatial light modulators<br>通用可编程多量子阱空间光调制器驱动电路
%A Wu Lan
%A Yu Ningmei
%A Zhang Yaohui
%A Ma Wenlong
%A <br>吴兰
%A 余宁梅
%A 张耀辉
%A 马文龙
%J 半导体学报
%D 2009
%I 
%X 研制了一种通用可编程的多量子阱空间光调制器驱动电路。利用软件预处理单元产生非线性光电转换控制信号，采用先粗扫再细扫的二次扫描方式，在保证扫描速度及分辨率的同时，有效降低像素单元电路的面积。通过调整驱动电路开关网络结构，减小了开关噪声，提高了输出精度。采用0.35 μm CMOS模拟工艺，完成了64×64阵列的多量子阱空间光调制器驱动电路的版图设计及流片。测试结果显示，芯片可以很好的工作，其输出摆幅可达0-VDD，驱动电压分辨率可调，最高至256，单个像素版图面积仅为65μm×65μm，可以与多量子阱空间光调制器倒装在一起，满足多量子阱空间光调制器对驱动电路的要求。
%K spatial light modulator
%K programmable
%K driving circuit<br>空间光调制器，可编程，驱动电路
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=077D21B2C056D69C73EF3085A7FDA3A7&yid=DE12191FBD62783C&vid=340AC2BF8E7AB4FD&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=94D14CD01F7BB7AD&eid=E158A972A605785F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0